美國Brooks布魯克斯122 系列機(jī)械壓力計(jì)
布魯克斯儀器 122 系列機(jī)械壓力計(jì)的設(shè)計(jì)和開發(fā)目的是滿足半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用對高純度的苛刻要求。設(shè)備采用不銹鋼材質(zhì)，特點(diǎn)是精度可達(dá)滿量程的 1%。上述兩英寸儀表屬于耐用型測量設(shè)備，適用于各種 過程連接、壓力范圍和安裝方向，可高效、可靠地進(jìn)行本地壓力監(jiān)測。

美國Brooks布魯克斯122 系列機(jī)械壓力計(jì)

產(chǎn)品特點(diǎn)

- 高精度：精度可達(dá)滿量程的1%。

- 材質(zhì)優(yōu)良：采用不銹鋼機(jī)芯，316L不銹鋼浸濕部件，300系列不銹鋼外殼并經(jīng)電解拋光，壓力表焊接在無氧室，滿足嚴(yán)格的清潔和安全指南。

- 設(shè)計(jì)多樣：有多種過程連接方式、壓力范圍和插座方向，過程連接包括面密封公頭、面密封旋轉(zhuǎn)公頭、面密封旋轉(zhuǎn)母頭和1/4"NPT公頭。

- 安全可靠：具有400%的爆破壓力和110%的耐壓測試壓力，配備無限制的后向泄壓塞，氦氣泄漏檢查達(dá)到4×10??inboard std.cc/sec。

產(chǎn)品規(guī)格

- 壓力范圍：-30英寸汞柱至4000psi。

- 顯示類型：模擬顯示，表盤為白色，帶有黑色標(biāo)記，“禁止用油"字樣為紅色。

- 外殼及鏡片：外殼為300系列不銹鋼，鏡片為一體式聚碳酸酯，通過螺絲固定。

- 工作溫度：溫度補(bǔ)償范圍為20°F至135°F（-7°C至57°C），工作溫度為0°F至160°F（-18°C至71°C），存儲溫度為-20°F至175°F（-29°C至79°C）。

應(yīng)用領(lǐng)域

主要用于半導(dǎo)體加工的氣體輸送系統(tǒng)和工具，如大宗氣體、氣體柜、氣體分配等場景。也可用于太陽能電池板制造，以及食品飲料、制藥、水處理和大宗氣體等領(lǐng)域

美國Brooks布魯克斯122 系列機(jī)械壓力計(jì)

日常維護(hù)

- 外觀清潔：定期用干凈柔軟的布擦拭壓力計(jì)外殼，去除灰塵、油污等雜質(zhì)，保持其清潔光亮。避免使用有腐蝕性的清潔劑，防止損壞外殼的電解拋光層。

- 連接檢查：檢查過程連接部位，確保接頭處無松動、滲漏。若發(fā)現(xiàn)密封面有雜質(zhì)或損傷，需及時(shí)清理或修復(fù)，保證密封性能良好。

定期檢查

- 部件檢查：每隔一定時(shí)間，打開壓力計(jì)外殼，檢查機(jī)芯部件，如300系列不銹鋼機(jī)芯、316L不銹鋼波登管等，查看有無磨損、變形、腐蝕等跡象。若發(fā)現(xiàn)部件損壞，應(yīng)及時(shí)更換原廠配件，以保證測量精度。同時(shí)，檢查聚碳酸酯鏡片有無劃痕、裂紋，如有影響讀數(shù)的情況，需進(jìn)行更換。

- 精度校準(zhǔn)：建議每年至少進(jìn)行一次精度校準(zhǔn)，或根據(jù)使用頻率和重要性適當(dāng)縮短校準(zhǔn)周期。校準(zhǔn)需使用高精度的標(biāo)準(zhǔn)壓力源和測量設(shè)備，將壓力計(jì)在全量程范圍內(nèi)進(jìn)行多點(diǎn)校準(zhǔn)，記錄校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，若偏差超出1%滿量程的精度范圍，需對壓力計(jì)進(jìn)行調(diào)整或維修。

環(huán)境維護(hù)

- 工作環(huán)境監(jiān)測：確保壓力計(jì)在規(guī)定的溫度范圍內(nèi)工作，溫度補(bǔ)償范圍為20°F至135°F（-7°C至57°C），工作溫度為0°F至160°F（-18°C至71°C）。避免安裝在高溫、潮濕、有腐蝕性氣體的環(huán)境中，同時(shí)要遠(yuǎn)離振動源和強(qiáng)磁場，防止影響測量精度和損壞內(nèi)部部件。

- 安裝位置檢查：定期檢查壓力計(jì)的安裝位置是否正確，安裝是否牢固。避免管道應(yīng)力傳遞到壓力計(jì)上，如有管道振動或位移，應(yīng)及時(shí)進(jìn)行調(diào)整和固定。

記錄與文檔管理

建立詳細(xì)的維護(hù)記錄檔案，記錄每次維護(hù)的時(shí)間、內(nèi)容、校準(zhǔn)數(shù)據(jù)、更換的部件等信息。這些記錄有助于分析壓力計(jì)的運(yùn)行狀況，提前發(fā)現(xiàn)潛在問題，同時(shí)也為后續(xù)的維修、校準(zhǔn)和設(shè)備更新提供參考依據(jù)。